kurabo液體成分濃度計的技術特點

ChemicAlyzer 是一種液體成分濃度計，采用采用光吸收原理的在線設計實現連續測量。自 1990 年以來，我們作為紅外液體成分濃度計的先*開始了我們的業務，我們利用我們豐富的專業知識和技術，通過響應質量和化學濃度的需求來應對不斷發展的半導體器件制造工藝。支持管理。

我們將通過靈活應對工藝和特殊化學品，以及通過高精度化學濃度測量“提前應對測量需求”，繼續為優化制造工藝做出貢獻。

1.高質量

為每個測量目標選擇*佳波長并為每個設備創建校準曲線。

我們提供通過檢驗測試的穩定產品，機器差異很小。

2.高性能

ChemicAlyzer 是一款高性能密度計，具有出色的響應性和分辨率。

濃度控制是可能的，即使是快速分解的成分的最輕微變化也不會被忽視。

3.耐久性

有助于長期降低運行成本。

我們提供支持已超過 10 年，并擁有良好的業績記錄。

晶圓制造工藝

?抗蝕劑剝離劑的濃度控制

?酸堿清洗液的濃度控制

半導體制造工藝

?再生化學品的濃度管理

?氧化膜/氮化膜蝕刻液的濃度控制

標準型 Pro
-2（KIS 系列）

• 

• 型號：KIS-2□-R[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		融合的
  設備尺寸		W201 x D340 x H198 [毫米]
  設備重量		約11公斤
  安裝環境	地方	半導體制造工廠無塵室或同等設備
  	環境溫度	20 至 30°C（無冷凝）
  電源		AC100-220V 80W

Pro-2+（KIS-P 系列）
Pro-2+（KIS-P 系列）

• 

• 型號：KIS-2□-RP[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		一體型 (*1)
  設備尺寸		W270 x D340 x H257 [毫米]
  設備重量		約16公斤
  安裝環境	地方	半導體制造工廠無塵室或同等設備
  	環境溫度	20 至 30°C（無冷凝）
  電源		100-220V 100W

高性能型號 Ace-3（KIS-A 系列）

• 

• 型號：KIS-2□-A[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		融合的
  設備尺寸		W250 x D330 x H282 [毫米]
  設備重量		約15公斤
  安裝環境	地方	半導體制造工廠無塵室或同等設備
  	環境溫度	20 至 30°C（無冷凝）
  電源		DC24V 100W

RD-20 系列 (RD-10/20/30)
RD-20 系列 (RD-10/20/30)

• 

• 型號：RD-2□[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		一體型 (*1)
  設備尺寸		W176 x D288 x H176 [毫米]
  設備重量		約6公斤
  安裝環境	地方	室內環境，無振動或腐蝕性環境
  	環境溫度	10 至 30°C（無冷凝）
  電源		DC24V 30W

TECH（TM 系列）
TECH（TM 系列）

• 

• 型號：TM-2□-A-FS[-備注]
  （□是表示化學種類的符號。）

  設備配置		分離細胞類型
  設備尺寸		W196 x D340 x H260 [毫米]
  設備重量		約11公斤
  安裝環境	地方	半導體制造工廠無塵室或同等設備
  	環境溫度	20 至 30°C（無冷凝）
  電源		AC100-220V 80W