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半導體圓晶和玻璃表面缺陷檢查用光源的特點

發布時間:2022-09-26 點擊量:2197

半導體圓晶和玻璃表面缺陷檢查用光源的特點

    

高亮度鹵素光源設備是 一種宏觀觀察照明設備,用于檢測各種缺陷,
例如異物,劃痕,拋光不均勻,霧度和終成品表面上的打滑,這在半導體晶圓的加工過程中是費力的工作和液晶基板.

檢查光源的特點

  1.樣品表面的照明度可達到400,000 Lx以上。

  2.由于使用鹵素燈作為光源,因此色溫高,幾乎沒有不均勻的照明,并且照明
    非常穩定且清晰。

  3.通過使用冷鏡,可以將熱量的影響極大地
    降低到傳統鋁鏡的1/3 

  4.兩階段切換機制使您可以通過一次觸摸在高光觀察和低光觀察之間進行切換
    。
    YP-150I ? ? ?照度范圍φ30YP-250I ? ?
    ?照度范圍φ60
    (YP-250I可以從螺旋槳式風扇和風管式風扇中選擇)。

檢查光源產品技術特性

高亮度鹵素射鏡


YP-150IYP-250I
照射范圍30mmφ60mmφ
照度≥ 400,000 lx
照射距離140mm220mm
光源鹵素燈(使用冷鏡)
燈型JCR15V150WELC24V250W
壽命50小時35 小時
色溫3,400K°
色調
環境溫度0~40℃
冷卻方式強制排氣
連接12φ20φ
尺寸100(W)×245(H)×116(D)mm120(W)×388(H)×130(D)mm
重量1.7 ㎏(17N)2.7 ㎏(27N)
輸入電壓AC100V 50/60HzAC100V 50/60Hz
功率200W350W
變化范圍AC5~12VAC10~22V
環境溫度0~40℃
冷卻方式自然強制排氣
尺寸140(W)×94(H)×185(D)mm135(W)×72(H)×260(D)mm
重量2.4 ㎏2 ㎏
其他輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq
(外加一插座)
輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq
(外加一金屬連接器)
腳踏開關線:3m
(底部金屬連接器)
輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq
(外加一插座)
輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq
(外加一金屬連接器)<span none"=""> 

日本山田光學YP-150I/250I高亮度鹵素射鏡  



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