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半導(dǎo)體制造車間對(duì)溫濕度的控制及露點(diǎn)設(shè)備推薦

發(fā)布時(shí)間:2023-10-21 點(diǎn)擊量:1776

半導(dǎo)體制造車間對(duì)溫濕度的控制及露點(diǎn)設(shè)備推薦

在半導(dǎo)體制造中,水一直是影響較大的污染物之一,統(tǒng)計(jì)顯示,不符合工況要求的水分造成的損失占損失的 25%。為避免產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量出現(xiàn)問(wèn)題,在半導(dǎo)體制造過(guò)程中必須尤為謹(jǐn)慎地監(jiān)測(cè)濕度和溫度水平。如濕度是硅晶圓生產(chǎn)過(guò)程中關(guān)鍵的因素,如果空氣太干燥,靜電就會(huì)成為問(wèn)題。

半導(dǎo)體、微電路和微芯片制造需要在制造/加工區(qū)域保持非常精確的條件。用于半導(dǎo)體組裝或加工的元件通常具有吸濕性,因此極易受到高濕度條件的影響。

吸濕成分可以導(dǎo)致:


  • 電路點(diǎn)腐蝕

  • 半導(dǎo)體組裝的操作故障

  • 光刻膠附著力不當(dāng)

  • 微芯片電路表面結(jié)露。


組裝領(lǐng)域:在半導(dǎo)體和集成電路的生產(chǎn)過(guò)程中,過(guò)多的水分會(huì)對(duì)鍵合過(guò)程產(chǎn)生不利影響并增加缺陷。稱為光致抗蝕劑的光敏聚合物化合物用于掩蓋蝕刻過(guò)程中的電路線。由于它們的吸濕性,它們會(huì)吸收水分,導(dǎo)致微觀電路線被切斷或橋接,從而導(dǎo)致電路故障。


晶圓制造區(qū)域:在晶圓制造過(guò)程中,旋轉(zhuǎn)器將顯影劑噴射到晶圓表面,使晶圓上的溶劑迅速蒸發(fā),從而冷卻晶圓表面。這導(dǎo)致空氣中的水蒸氣凝結(jié)在晶片表面上。晶圓上多余的水會(huì)導(dǎo)致顯影劑的特性發(fā)生變化。抗蝕劑還會(huì)吸收水分,導(dǎo)致聚合物膨脹。將相對(duì)濕度控制在 30% 可以消除將晶圓表面冷卻至晶圓表面周圍空氣露點(diǎn)以下的可能性,從而防止故障和損壞。

光刻室:光刻室的條件需要保持在 20% 至 35% RH 之間,溫度約為 700°F。過(guò)多的水分會(huì)導(dǎo)致二氧化硅吸收水分,導(dǎo)致光刻膠粘附不當(dāng),從而導(dǎo)致應(yīng)力斷裂和表面缺陷。

真空抽氣速度更快:如果濕度較高,低溫泵等真空設(shè)備的運(yùn)行會(huì)因水蒸氣負(fù)荷較大而減慢。如果 RH 水平能夠維持在 30-35% 左右,則可大大降低,從而提高批處理速度。。

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TK-100 在線露點(diǎn)儀的傳感器,采用的是 靜電容量式原理。 

當(dāng)水分子被夾在兩個(gè)導(dǎo)電層之間的多孔絕緣層 吸收時(shí),上導(dǎo)電層與下導(dǎo)電層之間的電容將會(huì) 產(chǎn)生變化。 

該電容量通過(guò)傳感器內(nèi)部電路被線性的轉(zhuǎn)換為露點(diǎn) 的模擬信號(hào)。 吸濕水分的絕緣層厚度為 0.5 μm 以下,上層導(dǎo)電金屬層厚度為 0.1 μm 以下,即使少量 水分的吸附也可迅速反應(yīng)。 

擁有如此薄度的同時(shí),傳感器仍保持優(yōu)秀的強(qiáng)韌及耐久性。

■   靜電容式露點(diǎn)儀

■   測(cè)量范圍:-100~20℃dp

■   精度:±2℃dp

■   短交貨期

用途:手套箱中的露點(diǎn)管理、干燥機(jī)露點(diǎn)檢查、熱處理爐內(nèi)大氣管理、電池,半導(dǎo)體,潔凈室和干室露點(diǎn)管理、氣體純度管理、天然氣水分管理、半導(dǎo)體制造設(shè)備、有機(jī)EL制造。

采用先進(jìn)的傳感器技術(shù)

TK-100 采用先進(jìn)的陶瓷傳感器技術(shù),在這基礎(chǔ)上通過(guò)TEKHNE多年積累的大量實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行調(diào)試和打磨出來(lái)的產(chǎn)品。

圖片

應(yīng)用:半導(dǎo)體、液晶、電池、電子行業(yè)


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