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日本uv-asumi準分子輻照裝置介紹

發(fā)布時間:2024-06-18 點擊量:965

日本uv-asumi準分子輻照裝置介紹

準分子燈利用充滿稀有氣體的燈內(nèi)產(chǎn)生的放電等離子體產(chǎn)生的光(準分子光)。

主要波長為126nm(Ar 2 *)、146nm(Kr 2 *)、172nm(Xe 2 *)、222nm(KrCl *)和308nm(XeCl * )。

我們使用Hamamatsu Photonics Co., Ltd.生產(chǎn)的Xe 2主波長為172 nm的燈單元,并提供表面改性和親水處理(改善潤濕性)的設(shè)備。


準分子燈的特點

  • 通過使用平板燈,可以實現(xiàn)大面積的均勻照射。

  • 采用RF(射頻),輸出穩(wěn)定,閃爍少

  • 172nm 的單一波長可實現(xiàn)更高效的準分子輻照加工。

  • 可以立即打開和關(guān)閉


準分子照射治療的特點

  • 與電暈放電和等離子方法直接對工件進行放電不同,準分子照射僅照射真空紫外線,因此對工件幾乎不會造成損壞。

  • 與因電極濺射而產(chǎn)生灰塵的電暈放電法和等離子法不同,可以進行清潔加工。

  • 準分子照射使用平板燈發(fā)出的光,因此不存在加工不均勻的情況。

準分子燈



波長172nm準分子光的能量

光的波長越短,它的能量就越高。使用氙 (Xe) 的準分子燈具有 172nm 的主波長和 698kJ/mol (7.23eV) 的能量。利用這種高能量,它可用于特氟龍等難以使用低壓汞燈對其表面進行改性的材料。

準分子光的能量比較

研發(fā)用掃描準分子輻照裝置

準分子輻照裝置

該裝置集成了主波長為172nm的準分子照射裝置、掃描臺和臭氧分解裝置,僅使用100V電源即可輕松安全地進行準分子表面改性實驗。

掃描階段允許處理比以前更大的區(qū)域。集成臭氧分解裝置,無需排氣設(shè)備等。


準分子照射裝置定制示例

準分子照射裝置定制示例

這是照射寬度為400mm的準分子照射單元的掃描型照射裝置。
最大工作尺寸為 400 x 800 毫米。


使用準分子照射設(shè)備進行改性的示例

準分子修飾的圖像



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